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104 中科院化學研究所 一種用於高電漿密度、高溫半導體製程的氮化鋁靜電吸盤 40
104 中科院化學研究所 三維半導體電路結構及其製法 6
104 中科院化學研究所 氮化鋁基板厚銅覆銅之製備方法 4
104 中科院化學研究所 氮化鋁靜電吸盤之異質疊層共燒陶瓷製備方法 22
104 中科院化學研究所 靜電吸附盤及其半導體設備 7
104 中科院化學研究所 一種紅色氮化物螢光粉配方 5
104 中科院化學研究所 一種氣氛控制碳熱還源製備氮化鋁粉體的方法 7
104 中科院化學研究所 五碳衍生物溴化及羥基化之觸媒開發、五碳衍生物功能性高分子檢測與研判 5
104 中科院材料暨光電研究所 牙根尖CMOS感測元件成像模組 9
104 中科院材料暨光電研究所 牙根尖用X光磷光板 4